技术参数
1.采用1-25 kV稳定的肖特基场发射源；
2.二次电子成像可达4096×4096像素的分辨率；
3.空间分辨率：8 nm；
4.采集深度：5-75 Å；
5.成分检出限：0.1atom %；
6.采集信息：元素（Li~U）部分化学态；
应用范围
用于分析固体材料表面纳米深度的元素（部分化学态）成分组成，可以对纳米级形貌进行观察和成分表征。既可以分析原材料（粉末颗粒，片材等）均匀表面组成，又可以分析材料或特定产品表面缺陷如污染，腐蚀，掺杂，吸附、杂质偏析等，还具备深度剖析功能表征钝化层，掺杂深度，纳米级多层膜层结构等。
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