天目湖先进储能技术研究院

技术参数

二次电子分辨率：0.8 nm (加速电压 15 kV) (标准模式，非任何减速模式下)

1.1 nm (加速电压 1 kV)(减速模式)

放大倍数：20 到 1000k         加速电压：20-1000k

电位移：±12μm(WD=8mm)

光阑：4孔物镜活动光阑系统：内置自清洁装置（孔径30、50、50、100μm）

探测器：低位（Lower）、高位（Upper）二次电子探测器、高位过滤背散射探头

信号选择：二次电子像、背散射电子像、混合像

快速换样系统：100mm直径大样品交换仓，换样时间30秒

真空转移系统：日立原装真空转移系统

能谱仪：布鲁克60mm2能谱

应用范围

1、加速电压减速功能，具有波长较短、像差较小、分辨力高的一系列优点，降低样品损伤的同时，可以获得低电压高分辨的图像。2、SE/BSE信号按比例接收功能，电镜配有低位（Lower），高位（Upper）二次电子探测器，高位过滤背散射探头，可以通过改变透镜内变换电极的电压，让检测器捕捉到二次电子及背散射电子，以任意比例（100级）混合，达到最 佳对比度的观察，抑制荷电、边缘效应，从而获得对比度最 佳的SEM像。