Process engineering
工序环境
露点：-50℃
粉尘：10万级
设备能力参数
1.注液精度：≤±1％*注液量；2.抽真空模式：自动控制抽真空可设置多段；3.最大真空度：-95KP；4.封装模式：热封装，封头材料：黄铜,封头长度：220mm.；5.封头温度控制精度：±3°C；6.封头平行度：<0.01mm；7.封印厚度控制：<0.02mm。
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