天目湖先进储能技术研究院

技术参数

.离子源：离子枪两支配有稀土磁铁的潘宁离子枪，高性能无耗材，抛光角度±10°, 每支离子枪可独立调节，离子束能量100 eV 到 8.0 keV，离子束流密度10 mA/cm2 峰值离子束直径可用气体流量计或放电电压来调节；

.真空系统：干泵系统80 L/s 的涡轮分子泵配有两级隔膜泵，压力：5 x 10-6 torr 基本压力，8 x 10-5 torr 工作压力，真空规冷阴极型用于主样品室；固体型用于前级机械泵，样品空气锁Whisperlok专利技术，无需破坏主样品室真空即可装卸样品，样品交换时间< 1 min

应用范围

用于EBSD样品制备；截面样品制备；

金属材料（合金，镀层）；

石油地质岩石矿物；光电材料；

化工高分子材料；新能源电池材料。